金融界2025年3月19日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备”的专利，公开号CN119626932A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，本发明公开一种半导体工艺设备，包括腔室模组、传输装置和控制器，腔室模组包括多个工艺腔室，多个工艺腔室包括第一工艺腔室、第二工艺腔室、第三工艺腔室以及第四工艺腔室，且腔室模组包括多个堆栈式腔室结构，其中一个堆栈式腔室结构包括第一工艺腔室或第四工艺腔室，另一个堆栈式腔室结构包括第二工艺腔室或第三工艺腔室，控制器控制半导体工艺设备执行如下步骤：在第一工艺腔室中并在硅片的正面进行第一本征非晶硅薄膜层沉积；在硅片的背面进行第二本征非晶硅薄膜层的沉积；在第二本征非晶硅薄膜层上进行N型晶硅或非晶硅薄膜层的沉积；在第一本征非晶硅薄膜层上进行P型晶硅或非晶硅薄膜层的沉积。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1013次，财产线索方面有商标信息43条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。

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